Sistemas de reducción de gases
Soluciones seguras y fiables para procesos de reducción de gases
Durante la fabricación de semiconductores se utilizan y producen gases nocivos. Estos gases pueden contener perfluorocarbonos (PFC) y gases de efecto invernadero, que deben tratarse antes de liberarlos a la atmósfera de forma segura. Los sistemas de reducción de gases o depuradores se utilizan habitualmente para desintoxicar estos gases.
Hoy en día se utilizan varios tipos de sistemas de reducción. Entre ellos se incluyen los sistemas de reducción térmicos, húmedos y combinados térmicos/húmedos. Los controladores de caudal másico Burkert se utilizan para controlar el caudal de gases combustibles y oxidantes a los quemadores en los sistemas de oxidación térmica. Las comunicaciones digitales y el control preciso ofrecen al usuario la flexibilidad de almacenar recetas para cambios rápidos y, al mismo tiempo, utilizar la cantidad exacta de gas necesaria, con el consiguiente ahorro de dinero.
Los sistemas totalmente integrados de Burkert permiten la instalación en espacios compactos donde el espacio es un bien escaso. Las válvulas de cierre integradas permiten un funcionamiento seguro y fiable. También pueden integrarse líneas adicionales de purga de gas inerte para garantizar que no queden gases combustibles en la cámara de combustión, y se instalan apagallamas a la salida del sistema para evitar el retroceso de llama.
Instalación habitual de controladores de caudal másico en un quemador. Electroválvulas de cierre, línea de purga y apagallamas integrados para mayor seguridad.
Para desarrollar una solución de sistema completa, dispone de una gama de soluciones de componentes de productos Burkert que se comunican a la perfección y ofrecen una compatibilidad perfecta.
Regulador de caudal másico (MFC)/ medidor de caudal másico (MFM) para gases
- Rangos de caudal nominal de 0,010 l/min a 160 l/min
- Gran precisión y repetibilidad en la medición
- Tiempos de reacción muy rápidos
- Sustitución de dispositivos más sencilla gracias a la memoria de configuración
- Opcionalmente: conformidad según USP clase VI, FDA y CE 1935
Regulador de caudal másico (MFC)/medidor de caudal másico (MFM) para gases
- Rangos de caudal nominal de 0,010 lN/min a 160 lN/min
- Alta exactitud de medición y reproducibilidad con tiempos de reacción muy rápidos
- Calibración del caudal estable a largo plazo
- Sustitución de dispositivos más sencilla gracias a la memoria de configuración
- Opcional: ATEX II cat. Conformidad según 3G/D o USP clase VI, FDA y CE 1935
Controlador de caudal másico (MFC)/medidor de caudal másico (MFM) para gases
- Rangos de caudal nominal de 20 lN/min a 2500 lN/min
- Gran precisión y repetibilidad
- Comunicación por señal estándar o Ethernet industrial
- Disponibles accionamientos de válvula electromagnético y con motor eléctrico
- Sustitución de dispositivos más sencilla gracias a la memoria de configuración
Regulador de caudal másico (MFC)/caudalímetro másico (MFM) para gases
- Rangos de caudal nominal de 20 lN/min a 2500 lN/min
- Alta exactitud de medición y reproducibilidad con tiempos de reacción muy rápidos
- Calibración del caudal estable a largo plazo
- Sustitución de dispositivos más sencilla gracias a la memoria de configuración
- Opcional: conformidad ATEX II cat. 3G/D o USP clase VI, FDA, CE 1935
Controlador / medidor de flujo másico (MFC/MFM) multicanal para gases
- Rangos de caudal nominal de 0,01 lN/min a 20 lN/min
- Gran precisión y repetibilidad
- Tiempos de reacción muy rápidos
- Combinable mediante módulos adicionales
- Sistema a medida sin costes de desarrollo
Válvula de émbolo de 2/2 vías servocontrolada
- Válvula de émbolo compacta y servocontrolada hasta ancho nominal DN 13
- Sistema de bobina atornillado y resistente a vibraciones
- Seguridad de fugas aumentada mediante tubo guía de núcleo soldado
- Abertura segura mediante el sistema de émbolo fijamente acoplado
- Modelos protegidos contra explosión
Válvula tipo émbolo de acción directa de 2/2 vías
- Válvula potente de acción directa hasta ancho nominal DN 12
- Sistema de bobina atornillado y resistente a vibraciones
- Seguridad de fugas aumentada mediante tubo guía de núcleo soldado
- Modelos protegidos contra explosión
- Versiones de alta presión para gases y líquidos
Válvula de asiento inclinado de 2/2 vías accionada neumáticamente
- Cuerpo de acero inoxidable o de bronce industrial con conexión con manguito, de mordaza o por soldadura.
- Larga vida útil
- Flujo elevado
- Larga vida útil
Válvula de asiento inclinado de 2/2 vías accionada manualmente
- Elevados valores de caudal
- Larga vida útil
- Actuador robusto con limitador de carrera y sistema de bloqueo opcionales
- Cuerpo de acero inoxidable optimizado para el caudal con conexión por manguito, Clamp o por soldadura
Válvula de bola / válvula de paso con accionamiento rotativo neumático
- Actuador rotativo neumático
- Ajuste exacto de la posición final
- paso completo
- Condiciones de flujo favorables
- Condiciones hidrodinámicas favorables
Aquí encontrará información relacionada con el control preciso del calor: